微纳制造科学是支撑微纳科技走向应用的基础。该学科是通过化学、物理学、材料科学、机械学、生物学、信息科学等相关学科的交叉与融合，探索基于化学/物理/生物等原理的微纳制造新方法与新工艺，揭示微纳尺度与精度下加工、成形、改性和跨尺度制造中的尺度效应、表面/界面效应等，阐明物质结构演变机理与器件的功能形成规律，建立微纳制造过程的精确表征与计量方法，为实现微纳制造的一致性与批量化提供理论基础。材料与器件的微纳制造方法是实现大规模批量生产高度有序微纳结构、赋予其可控物理化学特性、并进一步集成为具有特定功能的器件的有效途径。本课程将论述现代微米与纳米微细加工的科学原理，并概括微纳技术及应用领域已开展的相关新概念、新方法、新技术方面的前瞻性和基础性研究，便于学生从宽广的视角来理解本学科前沿的各种科学技术问题，进行创新性研究和开发工作。主要内容包括：光子、电子、离子和等离子体及其作用，常用的衬底与薄膜材料，微细图形技术，薄膜淀积、蚀刻、外延生长、氧化、扩散和离子注入的过程和方法，以及微细结构的光学、电子显微、声学、扫描探针显微等微观分析和表征手段。具体讲述章节有：

1. 绪论：微纳米技术与微纳米加工技术（2课时）
2. 光学曝光技术（4课时）
3. 电子束曝光技术（2课时）
4. 聚焦离子束加工技术（2课时）
5. 扫描探针加工技术（2课时）
6. 复制技术（含软刻蚀技术）（4课时）
7. 沉积法图形转移技术（2课时）
8. 刻蚀法图形转移技术（2课时）
9. 间接纳米加工技术（2课时）
10. 自组装纳米加工技术（2课时）
11. 微纳尺度表征技术（4课时）
12. 应用：场效应晶体管（2课时）
13. 应用：柔性光电器件（2课时）
14. 应用：能量存储器件（2课时）
15. 应用：微流体芯片（2课时）
16. 理论模拟在微纳加工中的应用（2课时）

总结（2课时）